超声波加工的历史
1927年,美国物理学家Wood和loomis做了第一个超声波加工实验,利用强大的超声波振动在玻璃板上雕刻和快速钻孔,但当时还没有应用于工业;1951年,美国的科恩制造了第一台实用的超声波加工机。
50年代中期,日本和苏联将超声波加工与电加工(如电火花和电解加工)和切削加工相结合,开辟了复合加工领域。这种复合加工方法可以改善电加工或金属切削的条件,提高加工效率和质量。1964年,英国提出了用烧结或电镀金刚石工具进行超声波旋转加工的方法,克服了超声波加工深孔时加工速度慢、精度差的缺点。