微机电系统的发展历程

MEMS的历史可以追溯到1959和65438+二月。美国物理学家诺贝尔奖获得者R.P .费曼(R.P.Feynman)在加州理工学院举行的美国物理学会年会上的科普演讲中首次提出了MEMS的概念。

事实上，在费曼的演讲之前，科学家们已经成功地开发出了指甲盖大小的马达。然而，费曼认为，这些研究成果在小型化的道路上仍然是原始和粗糙的，它们仍然处于技术的初级阶段。他的结论是“这之后会有更震撼的小世界”，他设想针尖上可以写24卷大英百科全书。为此，只需将大小减少到1/25000即可。历史证明了费曼的远见卓识。纳米技术、微机电系统、量子计算和分子自组装向人们展示了微小世界的巨大潜力。

1987中开发的微电机原理就来源于这个演讲的思路，所以一般认为MEMS研究的起点是1959。

1962年，第一个硅微压传感器问世，微器件的先驱，其特点是用硅膜、压敏电阻和体硅刻蚀。它是MEMS微传感器和体微加工的起点。

1967年，西屋研究实验室的Nathanson等人报道了硅共振栅晶体管。其特点是通过静电激发栅极振动，这是MEMS致动器的出发点。

1968年，Mallory公司的Wallis等人报道了硅玻璃的静电键合技术，后来成为微传感器封装的主要技术之一。

1978年，美国IBM的Bassous等人报道了硅微喷嘴。它是MEMS微结构的起点。

从1979到1985，以集成传感器为主要对象的MEMS领域首次成为热点。各种新型MEMS加工技术相继出现。

从1987到1988，召开了一系列关于微观力学和微观动力学的技术会议，MEMS一词在这些会议中被广泛采用，并逐渐成为世界性的学术术语。目前，MEMS的研究和发展主要集中在三个方面:微传感器、微致动器和微系统