干涉光学干涉测量法

可见光干涉测量法是干涉测量法中最先发展和应用最广泛的一类。早期的实际应用是利用迈克尔逊干涉仪测量恒星的角直径，但如何获得稳定的相干光源一直是限制光学测量发展的重要原因之一。直到20世纪60年代，光学干涉测量技术迅速发展，这归功于激光这种高强度相干光源的发明，计算机等数字集成电路获取和处理干涉仪获得数据的能力大大提高，单模光纤的应用增加了实验中的有效光程，仍然保持低噪声。随着电子技术的发展，人们可以直接测量相干光的相位差，而不是观察干涉仪产生的干涉条纹。列举了光学干涉测量在许多方面的重要应用。