费公司公司历史

原FEI公司由L.W. Swanson博士、N.A. Martin先生、L. Swenson先生和J. Orloff博士于1971年创立。费公司在1981年创立了液态金属离子束源，使其能够用于半导体工业维护和缺陷分析掩膜。目前，飞公司是由1997中的原飞公司和飞利浦电子光学以及1999中收购的离子束Micrion公司合并而成。