2022年中国光刻机现状
2022年9月14日，上海市外办举行“奋进新时代”系列专题首场新闻发布会。
发布会上，上海市经济信息化工作党委副书记、市经济信息化委主任吴金成透露，在集成电路领域，上海企业实现了14 nm先进工艺、90 nm掩模版光刻机、5 nm蚀刻机、12英寸大硅片、国产CPU、5G芯片等产品的量产；全市集成电路产业规模达到2500亿元，约占全国的25%，聚集了1，000多家重点企业，吸引了全国40%的集成电路人才。
发布会上，上海市经济信息化工作党委副书记、市经济信息化委主任吴金成透露，在集成电路领域，上海企业实现了14 nm先进工艺、90 nm掩模版光刻机、5 nm蚀刻机、12英寸大硅片、国产CPU、5G芯片等产品的量产；全市集成电路产业规模达到2500亿元，约占全国的25%，聚集了1，000多家重点企业，吸引了全国40%的集成电路人才。