真空泵的发展历史

随着真空应用的发展，真空泵的种类也越来越多，其抽气速度从每秒几十分之一升到每秒几十万、几百万升不等。随着生产和科研领域对真空技术应用压力范围的要求越来越高，大多需要由几台真空泵组成的抽真空系统来共同抽空气，以满足生产和科研的要求。由于真空应用部门涉及的工作压力范围很广，任何型号的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，不同型号的真空泵只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求来使用。为了使用方便，满足各种真空工艺的需要，各种真空泵有时根据其性能要求进行组合，以单元的形式应用。

常用的真空泵有干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等。这些泵是真空技术在我国国民经济各行业应用中必不可少的主泵。近年来，随着中国经济的持续高速发展，与真空泵相关的下游应用行业一直保持着快速增长的势头。同时，在真空泵应用领域不断拓展等因素的推动下，我国真空泵行业实现了持续、稳定、快速发展。